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产品名称:电子级三氯氧磷

更新时间:2019-6-13 10:32:43


产品详情

无色有刺激性臭味的发烟液体,熔点1.25C,沸点105.8C,分子量153.33.溶于氢气或五氯化磷时呈红黄色,露于潮湿空气中即水解生成磷酸和氯化氢,发生白烟。遇水和乙醇易分解井放出大量热和盐酸气体,对眼睛有刺激。有强腐蚀性。


分析项目 技术标准(ppb) 分析项目 技术技术标准(ppb)
6N级 7N级 6N级 7N级
As <20 <6
Mg <20
<5
Ba <20
<1
Mn <30
<1
Ca <20
<5
Ni <20
<1
Co <15
<1
Pb <10
<3
Cu <15
<2
Sr <5
<1
Cr <20
<1
Ti <5
<2
Fe <20
<5
Zn <5
<1
Al <15
<5
K <30
<3
Ag <1
<1
Li <10
<6
Au <1
<1
Na <10
<5
Bi <10
<1
Nb <2
<1
Ga <1
<1
Sn <5
<1
Hg <10
<5
含量,min 百分之99.9 百分之99.9
色度,max 5
5 particles in bottles;size ,个/ml ≥0.3um,50max ≥0.3um,50max


产品用途

电子级三氧氧磷是集成电路(IC)生产和多晶硅太阳能电池精细加工中PN结制作的掺杂剂,是五价元素磷(P)扩散源。在光纤加工过程和医药合成中,也会用到电子级三氯氧磷。


毒性及防护

三氯氧磷挥发出来的气体有毒、有刺激性和腐蚀性,能刺激粘膜、使眼黼、干咳,出现严重的呼吸困难,以后发生支气管炎,心脏机能不全,严重的贫血,肝肿大,尿中出现蛋白,肺界扩大。溅入眼结膜囊内1滴,即会出现坏死和视力完全丧失。*高允许浓度为0.051-ng/m3.操作人员应穿戴劳保防护用品,生产三氯氧磷的设备要密闭,工作期间应戴过滤式防毒面具,仔细保护皮肤和眼睛。


包装输运

主要采用高纯石英源瓶包装,其规格有500rnI/瓶、1000ml/瓶、1500ml/瓶,容器外套采用不透光塑料膜和厚质PVC塑料袋。另外,可以根据客户需求,采用不同规格以及特殊钢瓶包装。容器装在内置海绵缓冲垫的PE塑料箱内,包装上应有明显的“有毒品”和“腐蚀性物品"标志。属级无机酸 性腐蚀物品,危规编号: GB8.1类81040。 电子级三氧氧磷应贮存在阴凉、通风、干燥的库房中,容器须密封,远离热源和火种。不可与易燃品、潮解性物品共贮混运。运输时要防雨淋和日晒,装卸时要轻拿轻放,防E撞击和包装破损。失火时,可用干黄砂、干粉灭火器或二氧化碳灭火器扑救,但不可用水。

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